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在真空鍍膜設備自動(dòng)控制系統中,控制系統的性能指標是其精度、可靠性和實(shí)現速度。對于真空壓力的自動(dòng)控制和調節系統,有許多指標的要求。
1、自動(dòng)控制系統的穩定性
當自動(dòng)控制系統的給定值發(fā)生變化或受到干擾時(shí),控制量會(huì )發(fā)生變化并偏離初始值。由于受反饋環(huán)節的影響,裝置可利用設備內部控制系統的自動(dòng)調節功能,調整到回到原來(lái)的穩定值,或在給定值下緩慢穩定。然而,由于系統內部的相互影響,系統的狀態(tài)也可能是不穩定的。因此,對于所有的自動(dòng)控制系統,我們的首要要求是滿(mǎn)足系統的穩定性。
2、自動(dòng)控制系統的動(dòng)態(tài)特性
真空鍍膜機自動(dòng)控制系統的動(dòng)態(tài)性能指標是一系列系統暫態(tài)性能參數。一般來(lái)說(shuō),需要在系統中設定一個(gè)步進(jìn)單元在某一時(shí)刻的給定值,然后根據系統過(guò)渡過(guò)程曲線(xiàn)上相應的參數來(lái)表示控制系統的“動(dòng)態(tài)特性”,從而使這種控制系統在不同條件下的動(dòng)態(tài)特性具有可比性。
(1) 振蕩頻率:控制量在給定時(shí)間內的振蕩次數。振蕩頻率越小,控制系統的動(dòng)態(tài)性能越好。
(2) 作為速度調節系統的指標。調整時(shí)間,又稱(chēng)恢復時(shí)間,是指控制系統接收到步進(jìn)單位給定值的信號時(shí),設備從過(guò)渡狀態(tài)到允許偏差恢復所需的短時(shí)間。
(3) 以系統穩態(tài)偏差作為控制指標。在步進(jìn)單元給定值的影響下,器件過(guò)渡到穩態(tài)時(shí)的殘余差。
(4) 偏差大:控制量與給定值的偏差差。過(guò)渡過(guò)程曲線(xiàn)的峰值與給定值的差值。
(5) 衰減比:用于測量控制系統的穩定性指標。指同一方向上相鄰兩個(gè)波的振幅比,一般在4:1到10:1之間。
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